砷磷烷吸附塔

本设备利用化学反应、复分解反应等基本原理，与各种废气产生化学反应，生成稳定的无毒无害的化合物或者复合物，可直接用于修路、垃圾填埋等，不会产生二次污染。

砷磷烷吸附塔工艺流程

半导体行业的含砷废气从机台端单独收集，形成独立的系统，砷烷磷烷的处理系统主要分为两个部分，d一阶段为Local Scrubber，即本地的干式吸附装置，采用的原理也是化学吸附，目前随着国j及各地区环保排放标准日驱严格，在含砷系统的Local Scrubber的基础上汇集到屋面时会在Central端再次进行干式吸附，使用的设备称为砷磷烷吸附塔，一般砷磷烷吸附塔也会配置一用一备模式，吸附后通过末端风机负压达标排放。

砷磷烷吸附塔内部结构

砷磷烷也可以称含砷废气吸附装置，一般也可分为立式和卧式两种结构，如上述内部结构图，立式吸附塔侧进上出，卧式吸附塔侧进侧出，分为初效吸附剂和主反应药剂两个部分，砷磷烷的关键点就在于吸附剂的选择和使用。

砷磷烷吸附塔生产厂家

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