格林斯达制程排气系统在广东芯粤能半导体项目的应用

广东芯粤能半导体有限公司由世界500强企业吉利汽车参与投资。项目主要面向新能源汽车及相关应用领域的碳化硅（SiC）芯片产业化，包括芯片设计、芯片工艺研发与规模化制造等。碳化硅和氮化镓为代表的宽禁带半导体器件是国家 2030 规划和“十四五”国家研发计划确定的重要发展方向，被视作我国半导体产业弯道超车的重点产业。

格林斯达提供服务

格林斯达作为广东芯粤能半导体有限公司的废气系统解决方案供应商，在2022年，完成FABA厂房50K排气系统的建设，包括SEX系统：4套*75000CMH；AEX系统：3套*60000CMH；VEX系统：2套*50000CMH及系统的自控及上位机系统，保证系统稳定运行。

（广东芯粤能项目现场图 - 格林斯达废气处理系统）